Le contrôleur de débit massique CELERITY UFC-8561 est discontinué par le fabricant. Il utilise une interface réseau 9-pins avec joint C-SEAL, débit de 100 SCCM, empreinte de 1.125 pouce et appartient à la série 8560.
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Le contrôleur de débit massique CELERITY UFC-8561 est discontinué par le fabricant. Il utilise une interface réseau 9-pins avec joint C-SEAL, débit de 100 SCCM, empreinte de 1.125 pouce et appartient à la série 8560.