FC-D980C dijital kütle akış kontrolörü, üretici tarafından üretimi durduruldu, akış aralığı 10 SCCM ila 5 SLM, normalde kapalı, hassas akış kontrol uygulamaları için uygundur.
FC-D980C dijital kütle akış kontrolörü, üretici tarafından üretimi durduruldu, akış aralığı 10 SCCM ila 5 SLM, normalde kapalı, hassas akış kontrol uygulamaları için uygundur.